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干式真空泵类型如何来选择

点击次数:   更新时间:2020-07-17 09:45     来源:http://www.zyvacuum.com/ 【关闭
       在干式真空泵的应用中,选择合适的设备可以有效地解决干式真空泵设备的两个问题:第一,吸入容器污染泵的工作介质,影响产品质量、数量和维护成本。第二,由于某些反应材料在真空泵过程中的介质变质,使泵不能正常工作。那么干式真空泵都有哪些类型呢?大致可以分为:
 
1.   双圆裂纹。该设计非常类似于目前流行和广泛使用的根泵。实际上,一些早期的干泵设计思想是堆根泵。这种多阶段的设计使得气体路径相当复杂,每一个都需要大量的氮流稀释和分离。同时,为了实现良好的真空,对各级排雷都有非常严格的要求。当然,这种设计提高了内部压缩比,并且降低了成本。
干式真空泵
2.   内压螺杆类型。除了采用一对非等距螺杆外,内压螺杆设计和外压螺杆设计的基本原理非常相似。内部压缩之间的体积。由于内部压缩,这种设计将其功耗降低到相当于多级泵的水平。然而,在许多过程中,这种内部压缩与多级泵一样,很容易导致泵体内气体的物理和化学变化产生凝固或液化。
 
3.   组合(胡萝卜爪)。该设计采用根提高低压下抽油效率,提高高压下抽油效率。其基本原理和气路与上述原理完全相同。一些制造商已经将最后一层改为星形设计,使气体可以分成五个部分在一个旋转的圆圈,正如一个三件分裂设计可以分成三个部分。同样,在许多工艺中,每一层复合材料的设计都需要大量的氮气来稀释和分离。
 
4.   三叶圆叶。这种干式真空泵的设计与双圆分片机的设计相同,它将气体分为三个部分,而不是两个部分,如双圆分片机。两种设计都有相同的优缺点。为了进一步降低功耗,一些制造商在变速器中选择了两台直流电动机,但这也会导致扭矩降低,重启容量下降。与双圆分片设计一样,三叶圆分片设计的每一层需要大量的氮气来稀释和分离。
 
5.  外压螺杆类型。应用一对等距螺钉。这使得内部压缩减少到更小的数量,同时使气体通道更短更简单。这样,气体在干式真空泵体内停留较短。虽然这种设计降低了内压缩比,使其功耗相对较高,但在许多复杂的半导体工艺中表现出高的稳定性。这种单级设计使得对氮的使用要求非常小和简单,因此在不同工艺中具有良好的互换性。在许多清洁过程中甚至不能使用氮。
 
    随着干式真空泵应用的不断增加,厂家为了更好地满足企业的需求,使其可以分为这些类型,通过以上的详细介绍,使其能够根据自己的应用需要,选择设施。

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